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干式真空泵专业控制器 ⽬前国产⼲式真空泵组⼤部分采⽤PLC控制⽅案,没有形成标准的控制器产品。 ⻓沙昌佳⾃动化研发⽣产出可靠、耐⽤的⼲式真空泵组专⽤控制器,成功应⽤于国内多家⼲式真空泵组产品, 共同实现关键设备的⾼品质国产化。 多参数检测 排⽓压⼒、真空度、流 量、温度等 多回路控制 前置泵/螺杆泵/罗茨 泵的启停、变频器的 运⾏、阀⻔的调节等 多模式选择 标准化的机组根据⼯ 艺要求选择相应的控 制标准和控制程序 不间断运行 特别是半导体⾏业对 真空泵组运⾏有严苛 的要求,控制器预设 多参数保护、预警、及 提前⼲涉以实现机组 不间断运⾏ 定制化服务 根据⼯艺参数要求匹 配不同的内部结构和 专⽤的软件版本
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基本参数 环境:机箱内温度30~70℃ 电源:三相220V或三相380V 输⼊:14+8路开关量信号输⼊ 输出:21+5路⽆源开关量信号输出,误差不⼤于0.5% 通讯:1路RS232/485,1路RS485,2路⼿操器,1路RJ45,1路CAN;1路4G/5G 功能 ● 模拟量、开关量采集功能,对机组运⾏状态实时的监测,如氮⽓密封压⼒、排⽓压⼒、泵体温度、排⽓温度等,数据存储1年以上 ● 控制螺杆泵/罗茨泵联动启停,控制排⽓⼝温度、泵腔吹扫控制、氮⽓流量调节 ● 中英⽂切换显⽰ ● 电机温度保护,泵体温度保护,排⽓压⼒保护,及时报警或停机,维护保养时间提醒 ● 设定权限管理,软件授权下载与硬件防写⼊,不同的应⽤软件包可切换 典型应用 V-J基本型:应⽤于太阳能光伏、真空室排⽓、真空⼲燥、冶⾦、化⼯、医药等领域 V-Y严苛型:应⽤于半导体(刻蚀、PVD等)、镀膜、等离⼦⼯艺等 V-D定制型:根据客⼾具体需求定制化开发产品,满⾜产品和⼯艺需求
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