干式真空泵专业控制器

              ⽬前国产⼲式真空泵组⼤部分采⽤PLC控制⽅案，没有形成标准的控制器产品。 ⻓沙昌佳⾃动化研发⽣产出可靠、耐⽤的⼲式真空泵组专⽤控制器，成功应⽤于国内多家⼲式真空泵组产品， 共同实现关键设备的⾼品质国产化。

多参数检测    排⽓压⼒、真空度、流 量、温度等

多回路控制    前置泵/螺杆泵/罗茨 泵的启停、变频器的 运⾏、阀⻔的调节等

多模式选择    标准化的机组根据⼯ 艺要求选择相应的控 制标准和控制程序

不间断运行   特别是半导体⾏业对 真空泵组运⾏有严苛 的要求，控制器预设                           多参数保护、预警、及 提前⼲涉以实现机组 不间断运⾏

定制化服务    根据⼯艺参数要求匹 配不同的内部结构和 专⽤的软件版本

基本参数 

环境：机箱内温度30~70℃ 

电源：三相220V或三相380V 

输⼊：14+8路开关量信号输⼊ 

输出：21+5路⽆源开关量信号输出，误差不⼤于0.5% 

通讯：1路RS232/485，1路RS485，2路⼿操器，1路RJ45，1路CAN；1路4G/5G

功能 

● 模拟量、开关量采集功能，对机组运⾏状态实时的监测，如氮⽓密封压⼒、排⽓压⼒、泵体温度、排⽓温度等，数据存储1年以上 

● 控制螺杆泵/罗茨泵联动启停，控制排⽓⼝温度、泵腔吹扫控制、氮⽓流量调节 

● 中英⽂切换显⽰ 

● 电机温度保护，泵体温度保护，排⽓压⼒保护，及时报警或停机，维护保养时间提醒 

● 设定权限管理，软件授权下载与硬件防写⼊，不同的应⽤软件包可切换

典型应用

V-J基本型：应⽤于太阳能光伏、真空室排⽓、真空⼲燥、冶⾦、化⼯、医药等领域 

V-Y严苛型：应⽤于半导体（刻蚀、PVD等）、镀膜、等离⼦⼯艺等 

V-D定制型：根据客⼾具体需求定制化开发产品，满⾜产品和⼯艺需求